真空系統中有哪幾種壓力參數呢？

壓力參數在真空系統中隨處可見，指的是氣體對于固體或者液體表面的垂直作用力，且在真空系統中它是與壓強同義的。

常見的壓力參數自然是極限壓力。極限壓力是真空系統中真空泵性能的主要參數之一。通俗的理解就是真空系統抽氣過程中，經過長時間抽氣，當真空泵或真空機組的抽速為0或者說真空室的壓力參數一直維持在某一定值時，那就是真空泵或者真空機組的極限壓力了。

其次是工作壓力。工作壓力就是企業生產過程中，為保證工藝實施及產品質量所必需的壓力參數。真空設備選型過程中，為滿足工藝要求，設備的極限壓力都會低于工作壓力一個數量級左右。

基礎壓力。在某些工藝領域或者技術人員口中，基礎壓力也叫本底壓力，指的是生產工藝開始實施時真空室的壓力。例如磁控濺射應用可能需要將本地壓力抽至10-4Pa，而濺射過程的工作壓力可能在1Pa左右。

殘余壓力。殘余壓力某些時候其實和極限壓力一樣，是指經過真空泵或者真空機組一段時間的抽氣作業后，真空室中殘存氣體的全壓。如果此時的真空系統已經沒有抽速了，那殘余壓力就是真空泵或者真空機組的極限壓力。